电子特气储运装备 电子特气储运装备

电子特气储运装备

精益求精、臻于至善

蓝能电子特气储运装备是SiH4、CF4、NF3、HCL、N2O、CO2、SF6、NO、CO、氟氮混合气、磷烷氢混合气等电子特气的理想包装物,赋能半导体、集成电路、LED面板、光伏等行业。

通过自主研发,公司拥有国内领先的内壁研磨线,可批量化生产各种电子特气储运装备,满足超高纯、高纯电子特气包装的严苛要求。

Y-Ton气瓶

Y-Ton气瓶

电子特气运输装备

电子特气运输装备

Y-Ton 气瓶

Y-Ton 气瓶

Y-Ton 气瓶

体积小,方便灵活。蓝能 Y-Ton 气瓶是少量电子特气储运的理想选择。公称容积:440L、470L

Y-Ton气瓶技术参数

标准气瓶规格使用环境温度公称工作压力公称容积水压试验压力充装介质名称
MPaLMPa

GB/T33145 Q/LNQ002

DOT-3AA/3AAX

Φ610×15×2115-40~+6016.640027.7NO、NF3、CF4、SiH4、HCL、SF6等 
Φ610×15×2240-40~+6016.647027.7

除以上产品规格外,可根据不同电子气体介质需求进行定制

电子特气管束式集装箱

电子特气管束式集装箱

电子特气管束式集装箱

电子特气管束式集装箱

电子特气管束式集装箱

电子特气管束式集装箱

电子特气管束式集装箱

超高纯度、安全可靠。蓝能领先的内壁研磨技术和精细管控,确保高标准的内壁粗糙度、含水量和含氧量,使气体介质更纯净、更安全。产品可根据需求定制。

电子特气管束式集装箱技术参数

型号主体材质充装介质工作压力环境温度气瓶数量单瓶容积总水容积充装系数总装载质量自重外形尺寸
MPaLLKg/LKgKgmm (L*W*H)
GSX08-1090-SiH4-16.64130XSiH416.6-40 ~+608110088000.322816115506058*2438*1400
GSX12-1090-SiH4-16.64130XSiH416.6-40 ~+60121100132000.324224168006058*2438*1980
GSX08-2310-SiH4-16.64130XSiH416.6-40 ~+6082310184800.3259142150012192*2438*1400
GSX10-2310-SiH4-16.64130XSiH416.6-40 ~+60102310231000.3273922710012192*2438*1980
GSX08-1090-N2O-16.64130XN2O16.6-40 ~+608110088000.665808115506058*2438*1400
GSX10-1090-N2O-16.64130XN2O16.6-40 ~+60101100110000.667260145006058*2438*1900
GSX12-1090-N2O-16.64130XN2O16.6-40 ~+60121100132000.668712168006058*2438*1980
GSX12-1120-N2O-16.64145N2O16.6-40 ~+60121120134400.668870136006058*2438*1980
GSX08-1090-NF3-16.64130XNF316.6-40 ~+608110088000.564928115506058*2438*1400
GSX12-1090-NF3-16.64130XNF316.6-40 ~+60121100132000.567392168006058*2438*1980
GSX08-2310-NF3-16.64130XNF316.6-40 ~+6082310184800.56103492150012192*2438*1400
GSX10-1090-HCL-16.64130XHCl16.6-40 ~+60101100110000.657150144356058*2438*1900
GSX06-2310-HCL-16.64130XHCl16.6-40 ~+6061100138600.6590091670012192*2438*1400
GSX05-2310-HCL-16.64130XHCl16.6-40 ~+6051100115500.6575081462012192*2438*1400
GSX08-2310-HCL-16.64130XHCl16.6-40 ~+6082310184800.65120122150012192*2438*1400
GSX08-1090-CF4-16.64130XCF416.6-40 ~+608110088000.655720115506058*2438*1400
GSX12-1090-CF4-16.64130XCF416.6-40 ~+60121100132000.658580168006058*2438*1980
GSX12-1120-CF4-16.64145CF416.6-40 ~+60121120134400.658736136006058*2438*1980
GSX12-1120-SF6-16.64130XSF616.6-40 ~+60121100134401.3818547136006058*2438*1980
GSX12-1090-PH3MTF-16.64130XPH3M-TF16.6-40 ~+60121100132000.0373492168006058*2438*1980
GSX06-2375-C2H2F2-16.64145C2H2F216.6-40 ~+6062375142500.799751400012192*2438*1400
GSX06-2310-C2H2F2-16.64130XC2H2F216.6-40 ~+6062310138600.797021695012192*2438*1400
GSX07-3000-C2H2F2-16.64130XC2H2F216.6-40 ~+6063000180000.7126001976012192*2438*2000

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